所謂真空干燥，就是將干燥物料處在真空條件下，進行加熱干燥，如果利用真空泵進行抽氣抽濕，則加快了干燥速率。冷凍真空干燥機如采用冷凝器，物料中的溶劑可通過冷凝器加以回收；如采用SK系列水環真空泵，可不用冷凝器，節省能源投資。

    真空下物料溶液的沸點降低，使蒸發器的傳熱推動力增大，因此對一定的傳熱量可以節省蒸發器的傳熱面積。蒸發操作的熱源可采用低壓蒸汽或廢熱蒸汽。蒸發器熱損失少。在干燥前可進行消毒處理，干燥過程中無任何不純物混入，符合GMP要求。冷凍真空干燥機屬于靜態真空干燥器，故干燥物料的形體不會損壞。用于透氣性較好的片狀、條狀、顆粒狀物料的干燥，對于脫水蔬菜、催化劑、中藥飲片等類含水率高、而溫度不允許高的物料尤為合適；該系列干燥機具有干燥速度快、蒸發強度高、產品質量好的優點，對脫水濾餅狀的膏狀物料，需經造粒或制成條狀后方可干燥。

    冷凍真空干燥機建筑在國內外應用也相配多。圓柱體金屬布局，抗壓、密封性好。其干燥道理是行使罐體內的真空度，降低水的沸點，加速木材內水分挪動速度，從而進步干燥速度，縮短干燥時間。所以選定真空干燥法時，干燥溫度低，可減少或避免木材出現內裂、皺縮等干燥缺陷。真空干燥法比較適用干燥硬闊葉材厚板，它對分泌性好的闊葉材具有良好的干燥結果。